제품소개

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    [THERMAL] 열질량유량계 600-9UHP Series 단관형_기체 측정

    다양한 기체 측정 분야에서 유량 측정을 위한 솔루션

    600-9UHP Series 열식 질량 유량계는 초순수 가스, 반도체 산업에 활용하기 적합합니다.
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    THERMAL의 600-9UHP Series 열식 질량 유량계 

    열식 질량 유량계는 열 분산 원리를 통하여 유체의 질량 유량을 측정합니다.
    유량계 프로브의 센서는 히팅 RTD 센서(상시 가열)와 기준 RTD 센서가 있습니다.
    가스나 액체가 흐를 때 유체의 열로 인해 두 RTD 센서로 감지되는 온도차를 기준으로 질량 유량이 측정됩니다.
    가스의 흐름이 없을 때는 온도가 일정하게 유지되고, 가스의 흐름이 발생하면 센서가 작동합니다.

    • ¼의 OD부터 3인치 OD 튜브까지 다양한 라인 크기
    • 온도 및 압력 보상
    • 낮은 유량 민감도로 저유량 측정 가능
    • 다양한 압력과 진공 환경에서 작동
    • 넓은 온도 범위 : 공정 온도 -40 ~ 350 °F(-40 ~ 156 °C), 작동 온도 ± 50 °F
    • 316L SS 표준 구성 재료
    • 15Ra Flow 센서 표면 마감
    • 위생이 필요한 공정에서 활용
    • 통합 또는 원격 전자 흐름 송신기와 함께 사용 가능
    • 플로우 스위치로 사용 가능
     
    클린한 환경의 반도체 공정의 수소, 질소, 산소, 아르곤 유량을 측정할 수 있고,
    기타 실험실 환경의 청정 공정 가스 유량 측정과 정제 코팅 공정 중 식용 페인트의 분무량,
    태블릿 압축 단계에서 공기 흐름 측정 등 다양한 산업 공정에서 활용할 수 있습니다.
    • 제약
    • 식품 및 음료 응용
    • 반도체 공정
    • 전력/유틸리티
    • 프로브 재질 : 316L (표준), 15Ra 내부 마감
    • 프로세스 연결: Tube Ends, Tri-Clamp, VCR, VCO
    • 플랜지 면간 거리 : 사용 가능한 표준 및 사용자 지정
    • 전원 :  120/240V AC, 50/60Hz 24V DC, 1Amp
    • 출력 : 유량 4-20mA DC (표준), 온도 4-20mA DC (옵션), 0-5V DC, 0-10V DC(옵션)
    • 통신 : Pulse, Modbus RS 485, Hart 통신
    • 화면 표기 : 8자리 유량 및 총 유량
    • 정확도 : ±0.50 % of Full Scale 또는 1% of reading under 20% of flow range
    • 반복성 : ± .20 % of Rate
    • 턴다운 : 표준 10:1, 최대 1000:1 (응용 프로그램에 따라 다름)
    • 온도 : -40 ~ 175 °C (표준)
    • 환경 온도 한계 (Temperature Ambient) : –13 ~ 140 °F (-25 ~ 60 °C)
    • 전자 PCB 온도 제한 (Storage) : –40 ~ 158 °F (-40 ~ 70°C)